architekturglas - schlüsselkomponenten

VON ARDENNE fertigt die Schlüsselkomponenten für die Anlagentechnik im eigenen Hause. Bereits 1972 wurde die erste Anlage zur Beschichtung von wärmegedämmtem Architekturglas in Formaten von 1 m x 2 m entwickelt und als Prototyp in Betrieb genommen. Technologische Grundlage war zu dieser Zeit noch die Vakuumverdampfung von Metallen und dielektrischen Substanzen - eine Technologie, die bald danach durch das heute noch gebräuchliche großflächige Magnetron-Sputtern verdrängt wurde. Die dafür nötigen Magnetron-Sputter-Quellen wurden von Anfang an bei VON ARDENNE entwickelt. Auf dieser Grundlage können wir jahrzehntelanges Verständnis und umfangreiche Erfahrungen für Prozessfragen einbringen.

Übersicht

Anlagenplattformen

Schlüsselkomponenten

Schichtsysteme

magnetron-Sputter-quellen

Magnetron-Sputter-Quellen ermöglichen die präzise Abscheidung von komplexen Schichtsystemen mit gleichförmigen Schichtdicken auf großen Flächen. Das Magnetron-Sputtern ist die technologische Basis für sämtliche Anwendungen in der Architekturglasbeschichtung.

Alle in der Branche üblichen Schichtsysteme können mit hoher Beschichtungsrate und gleichförmigen Schichtdicken hergestellt werden, einschließlich:

Funktionsschichten für LowE (Ag)
Reflexionsschichten (Cr, SSt, Ti …)
Dielektrische Schichten (ZnO, SnO₂, TiO2, Si₃N₄ ...)
Absorberschichten (CrN, TiN, NiCr ...)

Beim Magnetron-Sputtern wird eine magnetfeldverstärkte Plasmaentladung im Hochvakuum und in Ar-Atmosphäre generiert. Durch Beschuss des als Katode fungierenden Beschichtungsmaterials (Target) mit positiven Ar-Ionen werden einzelne Atome aus der Target-Oberfläche geschlagen. Diese Atome kondensieren auf dem zu beschichtenden Substrat als kontinuierliche Dünnschicht.

Für die Großflächenbeschichtung kommen langgestreckte Magnetrons mit planaren Targets oder mit rotierenden Targets bis 3,75 m zum Einsatz. Bestimmt durch die Endanwendung werden verschiedene Systemkonfigurationen eingesetzt. Hierzu zählen z. B. Magnetrons mit Einzel- und Doppeltarget-Anordnungen im Gleich- und Wechselspannungsbetrieb.